¡¡ | SeeHint.com No: 11826 |
¡¡ |
¹Ì¼¼ ¹°¹æ¿ï, »ý¸í ±â¿øÀÇ ºñ¹Ð Ǫ´Â ¿¼è? 2018-01-15 ¿À ö¿ì ¼±ÀÓ±âÀÚ cheolwoo@hani.co.kr ¹°ÀÌ 0.001§® ¹æ¿ï·Î ÀÛ¾ÆÁú ¶§ È¿¼Ò ¾øÀ̵µ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀ ÀúÀý·Î ÃÖ±Ù ¹°¹æ¿ïÀÌ ÃæºÐÈ÷ ÀÛ°í ÀÏÁ¤ Á¶°ÇÀÌ °®ÃçÁö¸é ¹°¹æ¿ï ¾È¿¡¼ È¿¼Ò³ª ¿¡³ÊÁö ¾øÀ̵µ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ ±âº» ¿°±âµéÀÌ ¸¸µé¾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â ¿¬±¸ °á°ú°¡ ³ª¿Ô´Ù. Ãʹ̼¼ ¹°¹æ¿ïÀÌ ¼¼Æ÷¸¦ ´à¾Ò´Ù? Áö¸§ 0.001¹Ð¸®¹ÌÅÍ(§®), Áï 1¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(§) ´ÜÀ§ Å©±âÀÇ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ¶æ¹Û¿¡ »ý¹°ÇÐÀû ¹ÝÀÀÀ» ¹ß°ßÇÑ »ý¹°ÇÐÀÚµéÀÌ ¹°¹æ¿ï ½ÇÇè¿¡ Ç« ºüÁ³´Ù. ¼¼Æ÷ ¾È¿¡¼ È¿¼Ò³ª »ýü ¿¡³ÊÁö°¡ ÀÖ¾î¾ß¸¸ ÀϾ´Â »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ºñ»ý¸í°èÀÎ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ½±°Ô ÀϾ ¼ö ÀÖ´Ù´Â °Ô ÃÖ±Ù ½ÇÇè¿¡¼ ÀÕµû¶ó È®Àεǰí Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ¼¼Æ÷ÀÇ »ýÁ¸¿¡ ¹Ýµå½Ã ÇÊ¿äÇÑ ¡®ÀλêÈ¡¯¶ó´Â ¹ÝÀÀÀÌ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼± È¿¼Ò ¾øÀ̵µ ÀúÀý·Î ÀϾÀ¸¸ç, ½ÉÁö¾î ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ(RNA)¸¦ ±¸¼ºÇÏ´Â ¿°±âµéµµ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ¸¸µé¾îÁú ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù. ÃÖ±Ù ÀÌ·± ¿¬±¸ °á°úµéÀ» <¹Ì±¹±¹¸³°úÇпøȸº¸>(PNAS)¿¡ ÀÕµû¶ó ¹ßÇ¥ÇÑ ³²È«±æ ±âÃÊ°úÇבּ¸¿ø(IBS) ½Ä¹°³ëȼö¸í¿¬±¸´ÜÀå °â ´ë±¸°æºÏ°úÇбâ¼ú¿ø(DGIST) ±³¼ö ¿¬±¸Áø°ú ¸®Ã³µå Á¦¾î ¹Ì±¹ ½ºÅÄÆÛµå´ëÇÐ ±³¼ö ¿¬±¸ÁøÀº 2009³âºÎÅÍ »ýü ºÐÀÚµéÀÇ ÈÇÐ ¹ÝÀÀÀ» ¹°¹æ¿ï ¸ðÇüÀ» ÅëÇØ ½ÇÇèÇÏ°í °üÂûÇÏ´Â ¿¬±¸¸¦ °è¼ÓÇØ¿Ô´Ù. ±×µ¿¾È À̵éÀº ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ÀÌÀü¿¡ ¸ô¶ú´ø ¾î¶² Çö»óÀ» º¸¾ÒÀ»±î? ºÐ»çµÈ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ RNA ±¸¼ººÐÀÚ »ý¼º Áö³ÇØ 10¿ù ¿¬±¸ÁøÀº Ãʹ̼¼ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ¼¼Æ÷ »ýÁ¸¿¡ ÇʼöÀûÀÎ Àλêȶó´Â »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ÀúÀý·Î ÀϾ´Â °ÍÀ» °üÂûÇØ Çа迡 óÀ½ º¸°íÇß´Ù. ÀλêÈ´Â ÀλêÀÌ ´Ù¸¥ ºÐÀÚ¿Í °áÇÕÇÏ´Â ¹ÝÀÀÀ» ¸»Çϴµ¥, ÀÌÀü±îÁö´Â ¼¼Æ÷ ¹Û¿¡¼ ÀÚ¿¬ÀûÀ¸·Î ÀϾ´Â ÀλêÈ ¹ÝÀÀÀÌ °üÂûµÈ ÀûÀÌ ¾ø´Ù. ³² ±³¼ö´Â ¡°ÀÎ(P)Àº ÀλêÈ ¹ÝÀÀÀ» ÅëÇØ µð¿£¿¡ÀÌ(DNA)¿Í ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ °¡´ÚÀÇ °ñ°ÝÀ» ¸¸µé¸ç ¿¡³ÊÁö »ý¼º°ú ½ÅÈ£Àü´Þ¿¡µµ ÇʼöÀûÀÎ »ý¸íÀÇ ±âº» ¿ä¼Ò¡±¶ó¸ç ¡°¸®º¸½º(¿Àź´ç)¿Í ÀλêÀÌ ¹°¿¡¼± ¹ÝÀÀÇÏÁö ¾ÊÁö¸¸ µÑÀ» ¼¯Àº ¹°À» ¸ð¼¼°üÀ¸·Î ºÐ»çÇÏÀÚ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼ µÑÀÌ °áÇÕÇÏ´Â ÀλêÈ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ óÀ½¿£ ±ô¦ ³î¶ú´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ¹°¹æ¿ïÀÇ È¿°úÀÎ ¼ÀÀ̾ú´Ù. ´ç¿¬È÷ ¹°¹æ¿ï È¿°ú´Â Áö±¸ »ý¸íÀÇ ±â¿ø ¹®Á¦¿Í °ü·ÃÇØ ÁÖ¸ñ¹Þ¾Ò´Ù. 38¾ï~40¾ï³â Àü Áö±¸¿¡¼ ÅÂÃÊÀÇ À¯Àü¹°ÁúÀ̾úÀ» ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ°¡ ÈçÇÑ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ »ý¼ºµÆÀ» °¡´É¼ºÀ» º¸¿©Áֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. °øµ¿¿¬±¸ÀÚÀÎ Á¦¾î ±³¼ö´Â ÀüÀÚ¿ìÆí¿¡¼ ¡°ÅÂÃÊ¿¡ ¾î¶² ÀÏÀÌ ÀϾ´ÂÁö´Â ´©±¸µµ È®ÀÎÇÒ ¼ö ¾øÁö¸¸, ºñ»ý¸í¿¡¼ ¾î¶»°Ô »ý¸íÀÌ »ý°Ü³µ´ÂÁöÀÇ ÆÛÁñ ±×¸²À» ¸ÂÃß´Â ÇÑ Á¶°¢ÀÌ µÉ ¸¸ÇÑ ¿¬±¸¡±¶ó¸ç ±× Àǹ̸¦ µ¡ºÙ¿´´Ù. ÃÖ±Ù ³í¹®Àº ÇÑ °ÉÀ½ ´õ ³ª¾Æ°¬´Ù. À̹ø¿£ 1±â¾Ð°ú »ó¿Â »óÅ¿¡¼ Àλê, ¸®º¸½º, ¿°±â¸¦ ¼¯Àº ¹°À» ºÐ»çÇØ Ãʹ̼¼ ¹°¹æ¿ï ȯ°æÀ» ¸¸µé¾ú´õ´Ï °Å±â¿¡¼ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ÀϾ ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌÀÇ ±¸¼º ¼ººÐÀ¸·Î ¿°±â-¸®º¸½ºÀÇ °áÇÕ¹°ÀÎ ¸®º¸´ºÅ¬·¹¿À½Ãµå 4Á¾(¿ì¸®µò, ¾Æµ¥³ë½Å, ½ÃƼµò, À̳ë½Å)ÀÌ ¸ðµÎ ´Ù ¸¸µé¾îÁ³´Ù°í ¿¬±¸ÁøÀº º¸°íÇß´Ù. ¿©±â¿¡ Àλê±îÁö ºÙ´Â´Ù¸é ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ °¡´ÚÀÌ ¸¸µé¾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ³² ±³¼ö´Â ¡°¿°±âµéÀÌ À̾îºÙÀº ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ °¡´Ú ±¸Á¶¹°±îÁö ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼ °ú¿¬ ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î ¸¸µé¾îÁúÁö¸¦ È®ÀÎÇÏ´Â °Íµµ ÈÄ¼Ó ½ÇÇèµé Áß Çϳª¡±¶ó°í ¼³¸íÇß´Ù. Áö±Ý Áö±¸Ã³·³ Å°÷Àû Áö±¸¿¡¼µµ ±¸¸§, ¾È°³, Æĵµ¿¡¼ ÈçÈ÷ º¼ ¼ö ÀÖ¾úÀ» Ãʹ̼¼ ¹æ¿ï¿¡ ƯÁ¤ ¼ººÐµéÀÌ ´ã±â°í Á¶°ÇÀÌ °®ÃçÁö¸é ¾Æ¸£¿£¿¡ÀÌ °¡´Úµµ ÀúÀý·Î ¸¸µé¾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù´Â ±Ù°Å¸¦ ½ÇÇè¿¡¼ º¸¿©Áشٸé, Áö±¸ »ý¸íÀÇ ±â¿ø¿¡¼ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ïÀÌ Áß¿äÇÑ ¿ªÇÒÀ» ÇßÀ¸¸®¶ó´Â °¡¼³Àº ´õ¿í ÈûÀ» ¾òÀ» °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. ¹°¹æ¿ï È¿°ú´Â ¿Ö »ý±â´Â °É±î? ÀÌ·± ¹°¹æ¿ï ¿¬±¸°¡ ½ÃÀÛµÈ °Ç 2009³â ¹«·ÆÀ̾ú´Ù°í ÇÑ´Ù. ³² ±³¼ö´Â ¡°¼¼Æ÷ ¾È¿¡¼ ƯÁ¤ ºÐÀÚµéÀÇ ¹ÝÀÀÀÌ ¾î¶»°Ô ÀϾ´ÂÁö¸¦ ´Ü¼øÇÑ ¸ðÇü¿¡¼ µû·Î ¶¼¾î³»¾î °üÂûÇϱâ À§ÇØ ¹°¹æ¿ï ºÐ»ç ½ÇÇèÀ» ½ÃÀÛÇß´Ù¡±¸ç ¡°±×·±µ¥ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼± ¹ÝÀÀÀÌ ¼öõ ¹è³ª ºü¸£°í, °Ô´Ù°¡ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î ÀϾ´Â °É º¸°í¼ ¸ðµÎ °í¹«µÅ ¹°¹æ¿ïÀÇ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀ ½ÇÇèÀ» °è¼ÓÇØ¿Ô´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ±×³É ¹°¼Ó¿¡¼ »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀº ¿ÀÈ÷·Á ¹æÇظ¦ ¹Þ´Â´Ù. ±×·±µ¥ ±× ¹°ÀÌ ÂÉ°³Á® Ãʹ̼¼ ¹°¹æ¿ïÀÌ µÇ¸é ¿Ö »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀº ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î ÀϾ±î? ¡®ÀÛÀ½¡¯ ÀÚü°¡ ¾î¶² È¿°ú¸¦ ¸¸µé¾î³½ °É±î? ¿¬±¸ÀÚµéÀº ¾ÆÁ÷ ¹°¹æ¿ï È¿°ú°¡ ¿Ö, ¾î¶»°Ô ÀϾ´ÂÁö¸¦ ¸íÈ®ÇÏ°Ô ¹àÇô³»Áø ¸øÇß´Ù. ±×·¸Áö¸¸ ¸î °¡Áö¸¦ Á¶½É½º·´°Ô ÃßÁ¤ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ¡°ºñÄ¿¿¡ µç ¹° 1¸®ÅÍÀÇ Ç¥¸éÀûÀº 1§³¿¡ ÅξøÀÌ ¸ðÀÚ¶óÁö¸¸ ±× ¹°ÀÌ ¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ Áö¸§ÀÇ ¹°¹æ¿ïÀÌ µÉ ¶§ Ç¥¸éÀûÀ» ¸ðµÎ ÇÕÇÏ¸é ´ë·« Ã౸Àå Àý¹ÝÀÎ 3000§³¿¡ ´ÞÇÑ´Ù. ¹°°ú °ø±â°¡ Á¢ÇÏ´Â ¸é¿¡¼ ¹ÝÀÀÀÌ ÀÏ¾î³´Ù°í º¸¸é ¹ÝÀÀ ¼Óµµ´Â ºñÄ¿ÀÇ ¹°¿¡ ºñÇØ ¼öõ ¹è³ª »¡¶óÁö´Â °ÍÀÌ´Ù. ¶ÇÇÑ ¹°¹æ¿ï Ç¥¸é ¾ÈÆÆ¿¡´Â °ÇÑ Àü±âÀåÀÌ Çü¼ºµÈ´Ù. ¸î °¡Áö ¿äÀεéÀÌ ¹°¹æ¿ï ÀÚü¸¦ ¡®Ã˸š¯Ã³·³ ¸¸µé¾îÁØ´Ù°í »ý°¢ÇÑ´Ù.¡±(Á¦¾î ±³¼ö) ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼± »ýü ºÐÀÚ°¡ µ¶Æ¯ÇÏ°Ô ¿òÁ÷Àδٴ Á¡µµ ¹ß°ßµÆ´Ù. ½Ä¹°³ëȼö¸í¿¬±¸´ÜÀÇ ÀÌ»ó¹® ¿¬±¸À§¿øÀº ¹°¹æ¿ïÀÇ Çö¹Ì°æ »çÁøÀ» ÄÄÇ»ÅÍ È¸é¿¡ ¶ç¿ö º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù.(»çÁø) Çü±¤ ºÐÀÚ¸¦ ºÙÀÎ Ç÷Àå´Ü¹éÁúµéÀÌ ¹°¹æ¿ï ¾È¿¡¼ Ç¥¸é ÂÊÀ¸·Î ½ò·Á ¹°¹æ¿ïÀÇ °¡ÀåÀÚ¸®°¡ ºû³ª°í ÀÖ¾ú´Ù. ±×´Â ¡°¹°¹æ¿ïÀÌ ÀÛ¾ÆÁö¸é Ç¥¸é ¾ÈÆÆ¿¡ Àü±âÀåÀÌ »ý±â°í ´Ù¸¥ Ç¥¸é È¿°úµµ Àֱ⠶§¹®¿¡ ºÐÀÚµéÀÇ Çൿµµ ´Þ¶óÁø´Ù¡±¸ç ¡°¹°¹æ¿ï ±¸Á¶°¡ »ý¹°ÇÐÀû Çö»ó¿¡ ¾î¶² ¿µÇâÀ» ³¢Ä¡´Â °Í¡±À̶ó°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â ¹°¹æ¿ï ¾È »ýü ºÐÀÚµéÀÇ Çൿ Ư¼ºÀ» ³í¹®À¸·Î ¹ßÇ¥ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. ¡°»ý·Îº´»ç ¼¼Æ÷µµ ÀÏÁ¾ÀÇ ÀÛÀº ¹°¹æ¿ï¡± ¹°¹æ¿ï ¿¬±¸ÀÚµéÀº ¡°¼¼Æ÷µµ ÀÏÁ¾ÀÇ Ãʹ̼¼ ¹°¹æ¿ï¡±À̶ó´Â ¸»À» ÀÚÁÖ ÇÑ´Ù. ¼¼Æ÷ÀÇ Å©±â°¡ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï°ú ºñ½ÁÇѵ¥´Ù ¼¼Æ÷µµ ´ëºÎºÐ ¹°·Î ÀÌ·ïÁ® Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. ±×·¡¼ À̵éÀÌ ½ÇÇè ´ë»óÀ¸·Î »ïÀº ¹°¹æ¿ïÀº ¼¼Æ÷ÀÇ ¸ðÇüÀÎ ¼ÀÀÌ´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ¹°¹æ¿ï ¿¬±¸°¡ ³ëÈ¿Í Á×À½À̶ó´Â »ý¸í Çö»óÀ» ÀÌÇØÇÏ´Â µ¥ »õ·Î¿î ½Ã°¢°ú ÀÌÇظ¦ °¡Á®´ÙÁÙ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù. ³² ±³¼ö´Â ¡°¼¼Æ÷¿¡¼¸¸ ÀÏ¾î³´Ù°í »ý°¢Çß´ø »ýÈÇÐ ¹ÝÀÀÀÌ ºñ»ý¸íÀÎ ¹°¹æ¿ï¿¡¼ ÀÚ¹ßÀûÀ¸·Î ÀϾٴ °ÍÀº ÀÌÀü¿¡ ¾ËÁö ¸øÇß´ø »õ·Î¿î Çö»óÀ¸·Î, ¼¼Æ÷ ¼öÁØ¿¡¼ º¼ ¶§ »ý¸í°ú ºñ»ý¸íÀÇ °æ°è°¡ ´ëü ¹«¾ùÀΰ¡¶ó´Â ±Ùº» ¹°À½±îÁö ´øÁ®Áش١±°í ¸»Çß´Ù. ±×´Â ¡°±×µ¿¾È ³ëÈ¿Í Á×À½À» ÁÖ·Î À¯ÀüÀÚ Â÷¿ø¿¡¼¸¸ º¸¾Æ¿ÔÁö¸¸ À¯ÀüÀÚ¿£ ¾Æ¹« ¹®Á¦°¡ ¾ø´õ¶óµµ ¼¼Æ÷°¡ óÇÑ ¹°¸®¡¤ÈÇÐÀû »óÅ¿¡ µû¶ó »ý¸í Çö»óÀÌ ´Þ¶óÁú ¼ö ÀÖÀ» °¡´É¼ºÀ» ¹°¹æ¿ï ½ÇÇèÀÌ º¸¿©Áش١±°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹°¹æ¿ï¿¡¼ È¿¼Ò³ª »ýü ¿¡³ÊÁö ¾øÀ̵µ ³ªÅ¸³ª´Â ÀÛ¿ëÀÌ ½ÇÁ¦ÀÇ ¼¼Æ÷ ¾È¿¡¼ È¿¼ÒÀÇ µµ¿ò ¾øÀ̵µ ÀϾ°í ÀÖ´ÂÁö¸¦ È®ÀÎÇÏ´Â ¿¬±¸´Â ¹°¹æ¿ï ¿¬±¸ÀÚµéÀÇ Áß¿äÇÑ °ü½É»ç°¡ µÆ´Ù. ¶ÇÇÑ »ý¸í°ú ºñ»ý¸íÀÇ °æ°è¸¦ ¿À°¡´Â ¹°¹æ¿ïÀÇ ÈÄ¼Ó ¿¬±¸µé¿¡¼, Áö±¸ »ý¸íÀÇ ±â¿ø°ú °°Àº ¼ö¼ö²²³¢¿¡ ´ëÇÑ »õ·Î¿î °úÇÐÀû ¼³¸íÀ» ¾òÀ» ¼ö ÀÖÀ»Áöµµ ´ëÁßÀûÀÎ °ü½É»ç´Ù. °¡Àå ´Ü´ÜÇÑ ±¤¹° ´ÙÀ̾Ƹóµå, ³ª³ë¼¼°è¿¡¼± ±¸ºÎ·¯Áø´Ù 2018-04-24 ¿Àö¿ì ¼±ÀÓ±âÀÚ cheolwoo@hani.co.kr ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â õ¿¬±¤¹° Áß¿¡¼ °¡Àå ´Ü´ÜÇÑ ¹°ÁúÀÌ´Ù(°æµµ°¡ °¡Àå Å©´Ù). ±×·¡¼ ´ÙÀ̾Ƹóµå¿¡ ÈìÀ» ³¾ ¼ö ÀÖ´Â °Ç ´ÙÀ̾Ƹóµå¹Û¿¡ ¾ø´Ù´Â ¸»Àº ³Î¸® ¾Ë·ÁÁ® ÀÖ´Ù. µüµüÇÑ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ±úÁö°Å³ª ºÎ¼ÁúÁö¾ðÁ¤ ±¸ºÎ·¯ÁöÁö ¾Ê´Â´Ù. ±×·±µ¥ ±× Å©±â°¡ Á¡Á¡ ÀÛ¾ÆÁ® ³ª³ë¹ÌÅÍ(nm¡¤10¾ïºÐÀÇ 1m) ôµµ ¼öÁØÀ¸·Î ÀÛ¾ÆÁö¸é ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ °æµµ Ư¼º¿¡´Â ´ÙÀ̾Ƹóµå´äÀÝÀº º¯È°¡ ³ªÅ¸³´Ù. ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ¼ö¹é ³ª³ë¹ÌÅÍ ÀÌÇÏÀÇ ÀÛÀº ³ª³ë ±¸Á¶¹°ÀÌ µÇ¸é ±¸ºÎ·¯Áö°í ź¼ºµµ Áö´Ï´Â °ÍÀ¸·Î óÀ½ °üÂûµÆ´Ù. ¹Ì±¹ ¸Å»çÃß¼¼Ã÷°ø´ë(MIT), ½Ì°¡Æ÷¸£ ³¾ç°ø´ë, Çѱ¹ ¿ï»ê°ú±â¿ø(UNIST) µî ¼Ò¼Ó °øµ¿¿¬±¸ÁøÀº ½Ç¸®ÄÜ ±âÆÇ À§¿¡´Ù °í¾Ð »óÅ¿¡¼ ź¼Ò Áõ±â¸¦ »Õ¾î ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ¼ºÀå½ÃÅ°´Â ¡®ÈÇÐÁõÂø¹ý(CVD)¡¯À» ½á¼ ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°À» ¸¸µç ´ÙÀ½¿¡ ±× ź¼º ½ÇÇèÀ» Çغ¸¾Ò´õ´Ï ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ ±¸ºÎ·¯Áö°í Èشٴ °ÍÀ» °üÃøÇØ °úÇÐÀú³Î <»çÀ̾ð½º>¿¡ º¸°íÇß´Ù. ¿©±â¿¡¼ ÈÇÐÁõÂø¹ý(CVD)À̶õ, ±âü¸¦ °¡¿µÈ ±âÆÇ À§¿¡ »Õ¾î ÈÇйÝÀÀÀ» ÀÏÀ¸Å°°Ô ÇÔÀ¸·Î½á ¾ãÀº ¸·(¹Ú¸·)ÀÌ Çü¼ºÇÏ°Ô ÇÏ´Â °øÁ¤À¸·Î. ¹ÝµµÃ¼, ±Ý¼Ó¹Ú¸·, À¯±â¹Ú¸· µîÀ» ¸¸µé ¶§ º¸Åë »ç¿ëµÈ´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌ·± ÈÇÐÁõÂø¹ý¿¡´Ù ¡®¹ÝÀÀ¼º ÀÌ¿Â ½Ä°¢¹ý¡¯(RIE)À̶ó´Â °øÁ¤À» ½á¼, Áö¸§ 100~300³ª³ë¹ÌÅÍ Å©±â¿¡ ±æÂßÇÑ »Ô±âµÕ ¸ð¾çÀ» ÇØ À̸¥¹Ù ¡®³ª³ë¹Ù´Ã¡¯À̶ó ºÒ¸®´Â ÀÎÁ¶ ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°À» ¸¸µé¾ú´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ÀÌ·¸°Ô ¸¸µé¾îÁø ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°ÀÇ Åº¼º Ư¼ºÀ» ½ÇÇèÇß´Ù. ±æ°Ô »ÏÁ·ÇÏ°Ô »¸Àº ³ª³ë¹Ù´Ã ´ÙÀ̾Ƹóµå¸¦ ´Ù¸¥ ´ÙÀ̾Ƹóµå·Î ¼¼È÷ Áþ´©¸£ÀÚ ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°Àº ½±°Ô °üÃøµÉ Á¤µµ·Î ±¸ºÎ·¯Áö´Â ¸ð½ÀÀÌ °üÂûµÆ´Ù. ¿¬±¸ÁøÀº ³ª³ë ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ ÀÎÀå º¯Çü·ü(tensile strains)ÀÌ ÃÖ´ë 9%¿¡ ´ÞÇßÀ¸¸ç, ÀÌ·± ¼öÄ¡°¡ ´ÙÀ̾ƸóµåÀÇ º¯Çü ÇÑ°èÄ¡ÀÏ °ÍÀ¸·Î º¸ÀÎ´Ù°í º¸°íÇß´Ù. ´©¸£´Â °ÍÀ» ±×¸¸µÎÀÚ ±¸ºÎ·¯Á³´ø ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°Àº ¿ø»óÅ·Πº¹¿øµÆ´Ù. ź¼º Ư¼ºÀ» Áö´Ï°í ÀÖÀ½À» ¶æÇÑ´Ù. ±×·¯³ª ÇÑ°èÄ¡¸¦ ³Ñ¾î¼ °è¼Ó Å« ÈûÀÌ °¡ÇØÁö¸é ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°Àº À̳» ºÎ·¯Á³´Ù. ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°À» ´Ù¸¥ ´ÙÀ̾Ƹóµå·Î ¼¼È÷ ´©¸£ÀÚ ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°Àº ½±°Ô °üÃøµÉ Á¤µµ·Î ±¸ºÎ·¯Áö´Â ¸ð½ÀÀÌ °üÂûµÆ´Ù. ±×·¯³ª ÇÑ°èÄ¡¸¦ ³Ñ¾î¼ °è¼Ó Å« ÈûÀÌ °¡ÇØÁö¸é ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå ±¸Á¶¹°Àº À̳» ºÎ·¯Á³´Ù. ¹Ì±¹ ¸Å»çÃß¼¼Ã÷°ø´ë Á¦°ø ¿¬±¸ÁøÀº ¸Å»çÃß¼¼Ã÷°ø´ë º¸µµÀÚ·á¿¡¼, º¸Åë Å©±âÀÇ ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â ÀÎÀå º¯ÇüÀÇ ÇÑ°èÄ¡°¡ 1%¿¡µµ ÈξÀ ¸ø ¹ÌÄ¡´Âµ¥ ¡°³ª³ë Å©±âÀÇ ´ÙÀ̾Ƹóµå°¡ (9%³ª µÇ´Â) »ó´çÇÑ Á¤µµÀÇ Åº¼º º¯ÇüÀ» º¸¿©Áشٴ Á¡Àº ¸Å¿ì ³î¶ø´Ù¡±°í ¸»Çß´Ù. ³ª³ë ´ÙÀ̾Ƹóµå´Â 1¸¶ÀÌÅ©·Î¹ÌÅÍ(1000³ª³ë¹ÌÅÍ)º¸´Ù ÀÛÀº ´ÙÀ̾Ƹóµå ÀÔÀÚ¸¦ ÅëĪÇϴµ¥, º¸Åë ´ÙÀ̾Ƹóµå¿Í ¸¶Âù°¡Áö·Î ´Ü´ÜÇÏ¸ç ¿°ú ¸¶¸ð¿¡ °ÇÏ°í µ¶¼ºÀÌ ¾ø´Â µ¶Æ¯ÇÑ ±â°èÀû, ±¤ÇÐÀû Ư¼ºµéÀ» Áö³à ¹ÝµµÃ¼, µð½ºÇ÷¹ÀÌ µî ¿©·¯ ºÐ¾ß¿¡¼ Á¡Â÷ ¾²ÀÓ»õ°¡ ´Ã°í ÀÖÀ¸¸ç, ¾à¹° Àü´Þ¿ë ÀÇÇÐ Àç·á µîÀ¸·Î »õ·Ó°Ô ÀÀ¿ëÇÏ·Á´Â ¿¬±¸µµ À̾îÁö°í ÀÖ´Ù. |